藍寶石襯底：市場占有率位列第壹，是源於日本公司的專利技術。主要優點是：化學穩定性好，不吸收可見光，價格適中，制造技術相對成熟；不足方面：導電性差通過同側P、N電極克服；不易機械切割由激光劃片技術所克服。但是，較差的導熱性在小電流工作下沒有暴露出明顯不足，在功率型器件大電流工作下問題十分突出
矽襯底：襯底是源於中國的專利技術。優點：晶體質量高，尺寸大，成本低，易加工，導電性、導熱性和熱穩定性良好，缺點：矽襯底對光的吸收嚴重，致使矽襯底的LED出光效率低
碳化矽襯底：市場占有率第二。碳化矽的優點為化學穩定性好，導電性能好，導熱性能好，不吸收可見光等；缺點為價格高，晶體質量難以達到藍寶石和矽那麽好，機械加工性能比較差，SiC襯底吸收380nm以下的紫外光，不適合用於研發380nm以下的紫外LED。